[15p-2U-2~11] 17.1 成長技術

△ [15p-2U-7] スパッタリング法と有機原料を用いた硫化アニールによる単層MoS₂薄膜の作製

〇石原 聖也¹、日比野 祐介¹、澤本 直美¹、須田 耕平¹、大橋 匠²、松浦 賢太郎²、町田 英明³、石川 真人³、須藤 弘³、若林 整²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.東工大、3.気相成長(株))

キーワード：二硫化モリブデン、スパッタリング法、有機原料