15:45 〜 16:00
[15p-2V-11] 位相制御による高周波グロー放電プラズマの生成
キーワード：高周波グロー放電、位相制御、発光分光分析
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
[15p-2V-1~22] 8.1 プラズマ生成・制御
2015年9月15日(火) 13:00 〜 19:00 2V (234-1(南側))
座長:杤久保 文嘉(首都大),三沢 達也(佐賀大)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
2015年9月15日(火) 13:00 〜 19:00 2V (234-1(南側))
座長:杤久保 文嘉(首都大),三沢 達也(佐賀大)
15:45 〜 16:00
キーワード：高周波グロー放電、位相制御、発光分光分析