[15p-2W-1~23] 2.2 検出器開発

[15p-2W-22] 積層配線TES型X線マイクロカロリメータの表面粗さの研究

〇(M1)鈴木 翔太¹、桑原 啓介¹、黒丸 厳静¹、小泉 祥人¹、細矢 祥平¹、大橋 隆哉¹、石崎 欣尚¹、江副 祐一郎¹、山田 真也¹、満田 和久²、日高 睦夫³、佐藤 哲朗³ (1.首都大理、2.宇宙研、3.産総研)

キーワード：X線検出器、超伝導薄膜