2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

2015年9月15日(火) 13:15 〜 19:30 4E (437)

座長:村田 英一(名城大),嶋脇 秀隆(八戸工大)

16:30 〜 16:45

[15p-4E-13] 電子ビーム露光によるフォギング電子のバイアス電圧依存性

〇(M1)東海 昌司1、半田 勇希1、河本 拓也1、小寺 正敏1 (1.大阪工大)

キーワード:走査電子顕微鏡、絶縁体、表面電位分布測定