2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

2015年9月15日(火) 13:15 〜 19:30 4E (437)

座長:村田 英一(名城大),嶋脇 秀隆(八戸工大)

17:00 〜 17:15

[15p-4E-15] 試料表面のフォギング電子電流のバイアス電圧依存性

〇(M1)野田 拓1,2、萩原 佳史1、小寺 正敏1、Raynald Gauvin2 (1.大阪工大、2.マギル大学)

キーワード：走査電子顕微鏡、フォギング電子