[15p-PA2-1~1] 1.1 応用物理一般・学際領域

[15p-PA2-1] 酸素雰囲気中での深紫外光照射によるta-C薄膜損傷

〇神津 知己^1,3、山口 誠²、川口 雅弘⁴、西田 謙³ (1.レニショー株式会社、2.秋田大学、3.防衛大学校、4.東京都立産技研)

キーワード：深紫外光、ラマン分光、アモルファスカーボン

深紫外励起ラマン分光はsp^３結合起因のTピークを観察できるので、sp³結合を含むta-C(Tetrahedral Amorphous Carbon)薄膜の評価に有効である。しかし、深紫外光を照射することで損傷を受ける。今回、ta-C薄膜の酸素雰囲気中での深紫外光照射損傷に付いて述べる。