[15p-PA5-1~12] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15p-PA5-11] プラズモニック導波路で構成された積層型Mach-Zehnder導波路の作製

〇鎌田 隼¹、岡本 敏弘¹、原口 雅宣¹ (1.徳島大学工)

キーワード：プラズモニック導波路、マッハ・ツェンダー、電子線リソグラフィ