[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-15] Ge/Siヘテロ構造の結晶性向上に向けた熱処理技術の開発

〇(M2)上村 和貴¹、中家 大希¹、荒井 晢司¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、山本 千綾¹、中川 清和¹、高松 利行² (1.山梨大、2.株式会社SST)

キーワード：Ge/Siヘテロ構造、熱処理技術、水素ラジカル