2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-38] キャピラリー大気圧プラズマジェットを用いた表面修飾微細化における
基板材料と基板バイアスの効果

〇岡田 充1、アブザイリ トミー2,3、バタチャルジー スディープ4、ポエスパワティ ニィ3、プルナマニングシ レトノ3、永津 雅章1,2 (1.静大院工、2.創造科技院、3.インドネシア大、4.インド工科大)

キーワード:大気圧プラズマジェット、バイアス、基板