2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-39] 水素プラズマ処理した光支援熱電子発電器用Siエミッタの電子放出特性

〇(M2)井上 健吾1、羽田 篤史1、渡邉 孝俊1、荻野 明久1 (1.静大院工)

キーワード:半導体、熱電子放出、プラズマ処理