[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-41] 複数元素の粉体ターゲットによる機能性薄膜の作製

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、須田 義昭¹ (1.佐世保高専)

キーワード：プラズマプロセス、粉体ターゲット