2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-53] 酸化チタン薄膜表面への酸素プラズマ照射効果

〇新部 正人1、荒木 佑馬1、竹平 徳崇1、川上 烈生2、中野 由崇3、東 知里2 (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院工、3.中部大院工)

キーワード:プラズマダメージ、色素分解率、酸素欠損