[16a-1B-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[16a-1B-1] Ga添加ZnO薄膜の熱処理による表面吸着特性の変化

〇牧野 久雄^1,2、ルクマン ヌルハキム²、野本 淳一¹、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.高知工科大電子・光)

キーワード：酸化亜鉛、酸化物、表面

水素センサーやCOセンサーの感材としても期待されるGa添加ZnO膜の表面吸着特性について、真空中での熱処理による変化をＸ線光電子分光法によって評価した。成膜時の酸素流量に依存する、表面特性が変化について報告する。