[16a-1B-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [16a-1B-3] 反応性プラズマ蒸着法によるGa添加ZnO薄膜成長中における飛来粒子の入射エネルギーおよびイオン化率

〇北見 尚久¹、酒見 俊之¹、野本 淳一²、牧野 久雄^2,3、青木 康¹、加藤 隆典¹、山本 哲也² (1.住友重機械、2.高知工科大学総研、3.高知工科大学システム工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、プラズマ診断