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[16a-2F-6] HfO2/Al2O3上に形成したダイポールアンテナからの反射スペクトルの観測
キーワード:アンテナ
CO2やNO2といったガスは、中赤外域の波長で大きな吸収特性を有し、中赤外光を利用したガス検出技術が開発されている。しかし、中赤外域光源に対する光検出器の性能は不十分であり、高速応答・高感度の光検出器の開発が望まれている。我々は現在、光検出器に光捕集効果・電界増強効果を持つ光アンテナを搭載した構造を検討している。今回、HfO2/ Al2O3上にダイポール型光アンテナを搭載した素子により反射スペクトルを観測した。