[16a-2H-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16a-2H-1] IZO/Ag/IZO積層膜の高湿度条件における特性の変化

〇川森 翔¹、川村 みどり¹、阿部 良夫¹、隆之 木場¹、金 敬鎬¹ (1.北見工大)

キーワード：透明導電膜、積層構造、環境試験

透明導電物質であるIZOとAgの三層積層することで高い性能指数を達成できるが、Ag膜は温度や湿度の影響で凝集による白斑が生じ、性能を低下させる。本研究では、スパッタリング法によって成膜したIZO/Ag/IZO積層膜を温度85℃相対湿度85%下に30日間保持し、特性の変化を調査した。調査の結果、性能の低下は初めに上層IZOの粗さが増大し、続いてAgの白斑が生じ、最終的にシート抵抗が増大することがわかった。