[16a-2K-1~12] 1.3 新技術・複合新領域

△ [16a-2K-11] 土壌との密着性向上に向けた親水性小型ECセンサの改善

〇(M1C)伊藤 巽¹、小松 満²、國井 有巳³、渡辺 実⁴、竹下 祐二²、平野 陽豊¹、二川 雅登¹ (1.静岡大学、2.岡山大学、3.ラピスセミコンダクタ宮城、4.ラピスセミコンダクタ)

キーワード：電気伝導度、土壌、半導体

小型で多点計測が可能なECセンサを用いて土壌中の養分の長期精密管理の研究を進めてきた。しかし、小型ゆえセンサ界面の状態により測定範囲や精度が影響を受ける問題があった。センサチップに親水性(SiOx)膜を使用することで土壌との密着性を高め、安定測定が可能になると考えた。従来の疎水性(SiNx)膜とEC値の比較を行ったところ、親水性のセンサに安定性が認められ、土壌の安定測定可能なセンサを開発できた。