[16a-2R-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [16a-2R-11] スパッタリング法によるCa-Mg-Si基膜の作製と特性評価

〇上原 睦雄¹、黒川 満央¹、秋山 賢輔^1,2、松島 正明¹、内田 寛³、木村 好里¹、舟窪 浩¹ (1.東工大院、2.神奈川県産業技術セ、3.上智大)

キーワード：熱電材料、シリサイド、スパッタリング法