[16a-4E-1~8] 7.1 X線技術

[16a-4E-7] EUV光源の高効率化のための短パルスCO₂レーザーの開発

〇(M2)笹沼 淳史¹、天野 玲保¹、ヂン タンフン²、荒居 剛己¹、藤井 雄介¹、中村 大輔³、高橋 昭彦⁴、岡田 龍雄³、三浦 泰祐⁵、遠藤 彰⁵、東口 武史^1,2 (1.宇都宮大院工、2.宇都宮大オプト、3.九大院シ、4.九大医、5.HiLASE Centre)

キーワード：短パルスCO2レーザー