[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン（ポスター）

[16a-PA2-17] ALD-Al₂O₃薄膜で被覆したFeMo系触媒を用いたグラフェンの生成

〇平田 拓巳¹、中村 基訓¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：グラフェン、原子層堆積法