[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [16a-PA2-48] DNA修飾カーボンナノチューブの薄膜トランジスタの高性能化

〇桑原 有紀¹、二瓶 史行²、大森 滋和¹、斎藤 毅¹ (1.産総研、2.NEC)

キーワード：カーボンナノチューブ、薄膜トランジスタ、分離

本研究では、陰イオン交換クロマトグラフィー（IEX）を用いたDNA-CNTのカイラリティ分離により半導体CNTを分離し、TFTの性能向上を目指した。IEX分離後のCNTを用いて作製したTFTは、オンオフ比10⁶かつ移動度10 cm²/Vsの高い特性を示した。高密度においても半導体CNTのパスを維持できたことが、高オンオフ比と高移動度につながったと考えられる。