[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン（ポスター）

[16a-PA2-5] 常圧熱CVDによるカーボンナノチューブの形成

〇富田 貢丞¹、青笹 明彦¹、松本 勇士¹、相田 航¹、川上 尚晃¹、山崎 雄一²、酒井 忠司²、梶田 明広²、上野 和良^1,3 (1.芝浦工大、2.東芝、3.SITグリーンイノベーション研究センター)

キーワード：熱化学気相成長法、ナノカーボン

多層グラフェンやカーボンナノチューブ（CNT）等のナノカーボン（NC）は、銅に代わる低抵抗微細配線材料として期待されているが、低抵抗化のためにはドーピングが必要である。我々は、CNTの低抵抗化を目的として、無電解NiB触媒を用いて常圧熱CVD法により、ホウ素（B）ドープCNTが形成できる可能性を報告したが、ドーピングによる抵抗低減効果を検証するためには、直線状に伸びたCNTの形成が必要である。そこで、常圧熱CVD法によって直線状のCNTを形成する条件の検討を行った。