[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-2Q-5] 大気圧マイクロプラズマによるDLC局所成長

〇吉木 宏之¹、柳生 凌¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、大気圧マイクロプラズマ、RFプラズマ

注射針電極にガスを導入してRF電力（13.56MHz）を印加することで生成する大気圧非平衡プラズマ流を用いて、CH₄を原料とした化学気相成長（CVD）法でAlおよびSi基板にDLC膜を局所的コーティングするプロセス条件を探索する。SEM観察、FT-IR、ラマン分光分析から堆積膜は多量の水素基を含むDLC膜であること、また密着性や膜密度が不十分であることが判った。