2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[B-2] IOP英国物理学会出版局

■IOP英国物理学会の発行するマガジン、ジャーナル、およびウェブサイトの紹介。'Journal of Physics D: Applied Physics'誌,'Nanotechnology'誌をはじめとするIOPジャーナルの見本誌および論文募集チラシの無料配布

[A-11] アステック(株)

アステック(株) ■大気圧プラズマ分析装置、コンパクト型二次イオン質量分析計(SIMS、SNMS)、プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、昇温脱離ガス分析計(TPD,TDS)、大気圧サンプリング・ガス質量分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクター、ディレイラインディテクター(DLD)、チャンネルトロン、UPS(無停電電源装置) など

[V-14] アリオス(株)

■ダイヤモンド合成用CVD装置、イオンビームスパッタ装置、ラングミュアプローブ、RFラジカルビーム源、大気圧プラズマ装置、液中プラズマ装置

[T-3] (株)エイチ・ティー・エル

■米国Arradiance社製原子層堆積装置 GEMStar XT/XT-P: テーブルトップのALD装置。4”, 6”, 8” wafer、高さ~30mmの構造物等への成膜対応 ■オランダSolMateS社製PLD(Pulse Laser Deposition)装置: ~8”wafer対応量産装置 SIP700/1200とR&D用チャンバーモジュール製品 SMP700/800をLine U...