2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[V-26] 北野精機(株)

■~研究開発用実験装置・機器・部品~ ・OLED成膜装置(1インチ~4インチ)※省スペース・短納期・低コスト ・自動蒸着ソフトウエアのご紹介 ・小型蒸着源(ICF-70)/分析装置用コンポーネント展示 ・各種導入機(直線・回転導入機) ・各種加工部品(特殊材料:Ta,Mo,W,Ti,セラミックス) ・超高真空チェンバー展示 ・真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中 ・新製品発表広告展示

[T-1] (株)クレステック

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

[P-3] クロスライトソフトウェアインク日本支社

クロスライトソフトウェアインク日本支社 ■クロスライトソフトウェアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

[P-28] (株)光学技研

■光学技研は、1978年に設立された高精密光学部品と試作加工のリーディングカンパニーです。固体レーザ,光学システム及びその他用途の波長板,偏光子,各種光学結晶,高精度デバイスの開発と製造に特化しています。

[A-6] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス) ~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~ 非接触型の形状測定システム(ダイボス)は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

[A-17] コーンズテクノロジー(株)

コーンズテクノロジー(株) ■ロックインアンプ(SRS)

■熱拡散率測定装置(Bethel)

■残留ガスアナライザ(SRS)

■窒化シリコン薄膜(Silson)

■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGX Sensortech)

■赤外線カメラ (FLIR)

■クライオスタット/ クライオジェニックシステム(ICE oxford)