09:00 〜 09:15
〇百瀬 健1、冨田 皓太1、角田 隆明2、中川 隆史2、霜垣 幸浩1 (1.東大院工, 2.キヤノンアネルバ)
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セッション情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
09:15 〜 09:30
〇(M1)中村 良輝1、渡邉 満洋1、近藤 英一1、ミハイル バクラノフ2 (1.山梨大, 2.IMEC)
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09:30 〜 09:45
〇八木 麻実子1、齋藤 孝成1、白樫 淳一1 (1.東京農工大学院工)
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09:45 〜 10:00
〇須田 隆太郎1、八木 麻実子1、小島 明1、Romain Mentek1、白樫 淳一1、越田 信義1 (1.農工大・院･工)
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10:00 〜 10:15
〇徳久 英雄1、富田 充1、森田 智子1、伊勢 翔吾1、塚本 志帆1 (1.産総研)
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10:15 〜 10:30
〇堀川 剛1, 2、志村 大輔2、鄭 錫煥2、徳島 正敏2、木下 啓藏2、最上 徹2 (1.産総研, 2.PETRA)
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10:30 〜 10:45
〇木下 啓藏1、堀川 剛1, 2、奥村 滋一1、竹村 浩一1、清水 隆徳1、藤方 潤一1、最上 徹1 (1.PETRA, 2.産総研)
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休憩 (10:45 〜 11:00)
11:00 〜 11:15
〇浦岡 泰之1、大井 英生2、石田 誠1, 2、河野 剛士1 (1.豊橋技科大 電気・電子情報工学, 2.豊橋技科大 EIIRIS)
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11:15 〜 11:30
〇数佐 純子1、古賀 和博1、梅山 規男1、野田 大二3、扇子 義久1, 4、千葉 貴史1, 5、寺田 昌男1, 5、クンプアン ソマワン1, 2、原 史郎1, 2 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研, 3.マイクロマシンセンター, 4.リソテック, 5.坂口電熱)
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11:30 〜 11:45
〇田中 宏幸1、清水 禎樹1, 2、小木曽 久人1, 2、中野 禅1, 2、速水 利泰3、宮崎 俊也3、富阪 賢一3、手錢 永充3、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ, 2.産総研, 3.SPPテクノロジーズ)
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11:45 〜 12:00
〇居村 史人1、井上 道弘2、猿渡 新水1, 2、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ, 2.産総研)
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12:00 〜 12:15
〇寶池 広由1、居村 史人1、宮本 清治1, 2、クンプアン ソマワン1, 3、原 史郎1, 3 (1.ミニマル, 2.石井工作研究所, 3.産総研)
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12:15 〜 12:30
〇東野 泰英1、居村 史人1、小林 一彦2、井上 道弘3、猿渡 新水1, 3、クンプアン ソマワン1, 3、原 史郎1, 3 (1.ミニマル, 2.アピックヤマダ, 3.産総研)
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