[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 C1 (6C-104)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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09:00 〜 09:15

[14a-C1-1] MARLOWE二体衝突シミュレータのプリ・ポストプロセス

〇青木学聡¹、瀬木利夫¹、松尾二郎¹ (1.京大工)

09:15 〜 09:30

[14a-C1-2] 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを用いた金属クラスターイオン源の開発

〇(M1)水内勇¹、秋元健吾¹、山本宏晃²、戸名正英²、塚本恵三^1,²、中野元善¹、大下慶次郎¹、美齊津文典¹ (1.東北大院理, 2.(株)アヤボ)

09:30 〜 09:45

[14a-C1-3] 共鳴イオン化(RIMS)法を用いた放射性セシウムイメージング装置の開発

〇(PC)大石乾詞¹、坂本哲夫^1,²、川上勇²、奥村丈夫³ (1.工学院大工, 2.阿藤工務店, 3.日本中性子光学)

09:45 〜 10:00

△ [14a-C1-4] ビスマスクラスターSIMS法による有機材料分析に関する研究

〇藤井麻樹子¹、宍戸理恵²、鈴木茂²、松尾二郎¹ (1.京大院工, 2.東北大多元研)

10:00 〜 10:15

[14a-C1-5] ガスクラスターイオンビームを用いた有機材料の三次元質量イメージング技術の開発

〇若本恵佑¹、中川駿一郎¹、瀬木利夫¹、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大院工)

休憩 (10:15 〜 10:30)

10:30 〜 10:45

[14a-C1-6] ガスクラスターイオンビームによる極薄膜の非接触硬度評価

〇林雅祐¹、豊田紀章¹、山田公¹ (1.兵庫県立大工)

10:45 〜 11:00

[14a-C1-7] 低真空下におけるArクラスターイオンビームの輸送特性

〇鈴木敢士¹、瀬木利夫¹、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大工)

11:00 〜 11:15

[14a-C1-8] ClF₃中性クラスタービームによる微細パターンエッチング

〇瀬木利夫¹、山本洋揮²、古澤孝弘²、吉野裕³、妹尾武彦³、小池国彦³、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大院工, 2.阪大産研, 3.岩谷産業)

11:15 〜 11:30

[14a-C1-9] Ni表面へのGCIB照射による炭素膜の低温形成

〇中山大地¹、魚住裕樹¹、豊田紀章¹、山田公¹ (1.兵庫県立大工)

11:30 〜 11:45

[14a-C1-10] 希ガス混合下における電界電離イオン種の混在比の電界依存性

〇小牧啓介¹、永井滋一^1,²、岩田達夫^1,²、梶原和夫^1,²、畑浩一^1,² (1.三重大院工, 2.三重大極限ナノエレセ)

11:45 〜 12:00

[14a-C1-11] 走査型ヘリウムイオン顕微鏡を用いた電圧印加時のコンデンサの電位分布オペランド計測

〇酒井智香子¹、石田暢之¹、増田秀樹¹、永野聖子¹、藤田大介¹ (1.物材機構)

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