[11a-A20-1~7] 9.5 新機能材料・新物性

[11a-A20-4] リモート水素プラズマ支援によるTaナノドットの高密度一括形成

〇王 亜萍¹、牧原 克典¹、大田 晃生²、竹内 大智¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工, 2.名大VBL)

キーワード：タンタル、リモート水素プラズマ、ナノドット