[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-13] ミニマル圧縮モールド成形プロセス

〇東野 泰英¹、居村 史人¹、小林 一彦²、井上 道弘³、猿渡 新水^{1, 3}、クンプアン ソマワン^{1, 3}、原 史郎^{1, 3} (1.ミニマル, 2.アピックヤマダ, 3.産総研)

キーワード：ミニマル