[11a-C2-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[11a-C2-11] 低表面再結合速度を実現したCat-CVD SiNx/a-Si積層膜の化学耐性

〇寺嶋 茂樹¹、小山 晃一¹、大平 圭介¹、松村 英樹¹ (1.北陸先端大)

キーワード：パシベーション、ヘテロ接合太陽電池、触媒化学気相成長法