[11a-D1-1~8] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-5] 多結晶AZO透明導電膜のキャリア輸送現象に対する結晶粒界の影響

〇宇於崎 涼介¹、山中 俊憲¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大 OEDS R&D センター)

キーワード：ZnO、AZO