[11a-D10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11a-D10-2] RFリアクティブスパッタ堆積したLi添加NiO薄膜の正孔濃度制御

〇中井 洋志¹、前田 亮¹、小笠原 愛理¹、森山 和眞¹、川出 大佑¹、秩父 重英²、杉山 睦¹ (1.東京理科大学 理工学部/総合研究機構, 2.東北大学 多元物質科学研究所)

キーワード：酸化ニッケル、スパッタ、p型透明酸化物半導体