[11a-D4-1~10] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[11a-D4-3] カーボンナノチューブ複合体電極を有する高速応答ポリイミド静電容量型湿度センサの作製とガス透過機構に関する検討

〇伊東 栄次¹、高田 明典¹ (1.信州大工)

キーワード：ポリイミド、カーボンナノチューブ、湿度センサ