[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[11a-D8-10] 金属–EDTAの原料粒径を制御して合成した酸化物膜

白井 友之¹、淡 エンキン¹、〇小松 啓志¹、中村 淳^{1, 2}、大塩 茂夫¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大, 2.中部キレスト)

キーワード：金属-EDTA、粒径制御、酸化物膜