[11a-D9-1~11] 6.5 表面物理・真空

[11a-D9-4] 針状試料の先端開き角度を活用したアトムプローブにおける像の再構築

〇湯川 豪¹、森田 真人¹、唐澤 正信¹、間山 憲仁³、石村 聡³、内田 博³、河村 踊子⁴、伊藤 公平⁴、尾張 真則^{1, 2} (1.東大生研, 2.東大環セ, 3.東芝ナノアナリシス, 4.慶大理工)

キーワード：アトムプローブ、Si超格子、3次元元素分析