[11p-A19-9~15] 2.2 検出器開発

[11p-A19-10] STEM-EDS用64素子TES型X線マイクロカロリメータアレイの開発

〇林 佑¹、永吉 賢一郎¹、村松 はるか¹、満田 和久¹、山崎 典子¹、本間 敬之²、齋藤 美紀子³、前畑 京介⁴、原 徹⁵ (1.ISAS/JAXA, 2.早大先進理工, 3.早大NTRC, 4.九大工, 5.NIMS)

キーワード：走査透過型電子顕微鏡、TESカロリメータ、X線