[11p-A19-9~15] 2.2 検出器開発

[11p-A19-12] 走査型電子顕微鏡搭載のためのTES型X 線マイクロカロリメータアレイ実装技術の開発

〇永吉 賢一郎¹、千葉 旭¹、林 佑¹、村松 はるか¹、酒井 和広¹、山本 亮¹、満田 和久¹、山崎 典子¹、竹井 洋¹、前畑 京介²、原 徹³ (1.宇宙航空研究開発機構, 2.九大工, 3.物質・材料研究機構)

キーワード：TES、STEM