[11p-A19-9~15] 2.2 検出器開発

[11p-A19-15] 走査透過型電子顕微鏡搭載用小型無冷媒³He-⁴He希釈冷凍機の開発

〇前畑 京介¹、山中 良浩²、伊藤 琢司²、原 徹³、満田 和久⁴、田中 啓一⁵ (1.九大院工, 2.大陽日酸, 3.NIMS, 4.JAXA, 5.日立ハイテクサイエンス)

キーワード：希釈冷凍機、小型無冷媒