[11p-A23-1~13] 13.5 デバイス／集積化技術

[11p-A23-11] 短チャネルトンネルトランジスタにおけるAl-Nイオン注入で形成した深い準位を介する単一電子輸送

〇大野 圭司¹、森 貴洋²、森山 悟士³ (1.理研, 2.産総研, 3.物材機構)

キーワード：単一電子、トンネルトランジスタ