2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[11p-A23-1~13] 13.5 デバイス／集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A23 (6A-216)

17:00 〜 17:15

[11p-A23-12] Si中の等価電複合不純物の電子状態に関する第一原理計算

〇(DC)飯塚 将太1、中山 隆史1 (1.千葉大理)

キーワード：トンネルFET、等価電複合不純物、第一原理計算