[11p-A27-1~4] 8.2 プラズマ診断・計測

[11p-A27-1] RF印加電圧波形解析と中性粒子ビーム加速機構のモデル化２

〇榊原 康明¹、菊地 良幸^{1, 2}、寒川 誠二² (1.東京エレクトロン, 2.東北大学)

キーワード：マイクロ波プラズマ、中性粒子ビーム、モデリング