[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [11p-A29-2] 触覚と曲げに対する高い選択性を有した電子皮膚デバイス

〇金尾 顕一朗¹、原田 真吾¹、山本 祐輝¹、本田 航¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹、竹井 邦晴¹ (1.大阪府大)

キーワード：電子皮膚