[11p-B1-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-B1-6] ハイドライド気相成長法を用いた両面成長によるGaNテンプレートの反り低減

〇山本 健志¹、井原 洋¹、山根 啓輔²、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院理工, 2.豊橋技術科学大)

キーワード：ガリウムナイトライド、ハイドライド気相成長法、反り