[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-4] 熱アニール法によるポリスチレンとポリジメチルシロキサンからなるブロック共重合体のランダム配向面内シリンダ構造の形成(2)

〇山口 徹¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：ブロック共重合体、ミクロ相分離、リソグラフィ