[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-1] イントロダクトリートーク：荷電粒子ビームの工業への応用

〇高岡 義寛¹ (1.京大光・電子理工センター)

キーワード：荷電粒子、電子ビーム、イオンビーム