[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-9] メタルフリー · 反応性負イオンFIBへの応用へ向けたイオン液体イオン源の開発と照射効果の検討

〇竹内 光明¹、星出 優輝¹、龍頭 啓充¹、高岡 義寛¹ (1.京大光電子理工セ)

キーワード：イオン液体、イオン源