[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[11p-C1-2] (001)面高濃度ボロンドープダイヤモンド成長のオフ角依存性

〇(DC)川島 宏幸^{1, 2, 3}、加藤 宙光^{2, 3}、小倉 政彦^{2, 3}、牧野 俊晴^{2, 3}、竹内 大輔^{2, 3}、山崎 聡^{1, 2, 3} (1.筑波大, 2.産総研, 3.JST/CREST)

キーワード：ボロンドープダイヤモンド、CVD、オフ角依存性