[11p-D9-1~7] 斜め蒸着法，GLAD，STF等，シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

[11p-D9-5] 異材界面に挿入したナノ要素集合薄膜の破壊基準

〇澄川 貴志¹、北村 隆行¹ (1.京大工)

キーワード：ナノ要素、力学特性、動的斜め蒸着