[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-7] 4H-SiCの拡張転位の電子顕微鏡解析

〇佐藤 高広¹、大津 喜宏²、生頼 義久¹、一色 俊之³、福井 宗利¹ (1.日立ハイテクノロジーズ, 2.日立ハイテクマニファクチャ＆サービス, 3.京都工芸繊維大学)

キーワード：4H-SiC、電子顕微鏡、基底面転位