[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-9] SiC/SiO₂界面における窒素化学状態の結晶面方位依存性

〇森 大輔¹、井上 慧¹、寺西 秀明¹、瀧川 亜樹¹、広瀬 隆之¹ (1.富士電機株式会社)

キーワード：SiC